飞利浦是哪国的公司品牌 飞利浦是哪国的( 三 )


准确抓住了技术转折点
目前世界最顶尖的光刻机有三个厂家,分别是ASML,尼康和佳能 。2007年之前这三大厂家其实并没有太大的差距,竞争的转折点是出现在2007年 。2007年ASML配合台积电的技术方向,推出了193纳米的光源浸没式系统,在光学镜头和硅晶圆片导入液体作为介质,在原有光源与镜头的条件下,能显著提升蚀刻精度 , 并成为高端科技的主流技术方案 。而当时日本的尼康与佳能却主推157纳米光源的干式光刻,这个路线后来被市场所放弃 , 也成为尼康跟佳能迈入衰退的一个转折点,后来才有了ASML的垄断 。

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技术分工与合作
虽然ASML的研发人员占员工总数的比例达到4成左右,但是ASML很多技术都是外包 , 这样可以让ASML专注于核心技术与客户需求,大大提高研发的效率 。
对细分技术领域企业的控制
生产光刻机对技术的综合要求非常高,这里面涉及很多技术领域,为了获得全球最顶尖的技术,ASML先后投资了很多企业 。比如2007年收购了美国的Bion,强化了专业光刻检测与解决方案能力;2013年完成对紫外光源龙头 Cymene的收购,2016年获得光学镜片龙头德国蔡司24.9%的股份,这两项投资进一步加强了ASML在极紫外光领域的领先优势 。
PS:
EUV(极紫外光源)光刻机,是生产7nm制程芯片必不可少的设备,我们熟知的华为麒麟芯片、高通骁龙芯片,三星Exynos芯片的制造都离不开该设备 。可以说没有EUV光刻机就生产不出顶级的处理器,如果台积电不给华为代工 , 华为就得退出中高端手机市?。?
目前仅有由荷兰飞利浦公司发展而来的ASML(阿斯麦)一家可提供可供量产用的EUV光刻机,在全球市场处于绝对垄断地位 。因此ASML对于EUV光刻机的供货重要性不言而喻,同时一台光刻机的价值不菲,超过一亿美元!
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EUV光刻机制造难度极高,基本代表着人类科学技术,工业制造各领域最高成果 。需要多个国家、多个领域顶级公司通力合作 , 才能制造出来,基本代表着人类科学技术的顶峰!EUV光刻机在研发初期耗费了大量的资源,三星、台积电、英特尔共同向ASML注资52.59亿欧元 , 用于支持EUV光刻机的研发 。随后ASML收购了全球领先的准分子激光器供应商Cymer,并以10亿欧元现金入股德国著名光学系统生产商卡尔蔡司,加速EUV光源和光学系统的研发进程,这两次并购也是EUV光刻机能研发成功的重要原因 。EUV光学透镜、反射镜系统需要极高的精度 。举例来说 , 一台EUV机台得经过十几面反射镜,将光从光源一路导到晶圆,最后大概只剩下不到2%的光线 。反射镜的制造难度非常大,精度以皮米计(万亿分之一米) 。ASML的总裁曾说过,如果反射镜面积有德国那么大,最高的凸起不能超过1公分 。
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光刻机光刻过程必须在真空中实现 , 原因是极紫外光很娇贵,在空气中容易损耗 。同时,在光刻过程中,设备的动作时间误差以皮秒计 。(备注:皮秒=兆分之一秒)EUV除了售价高昂,技术复杂之外,耗电能力也十分恐怖 。驱动一台能输出 250 瓦功率的 EUV的机台,需要输入0.125万千瓦的电力才能达到,换句话来说,就是一台输出功率250W的EUV机器工作一天,将会消耗3万度电,这个数字确实吓人 。由于极紫外光的固有特性 , 产生极紫外光的方式十分低效,世界第二大内存制造商、韩国的 SK 海力士代表曾表示 , “EUV 的能源转换效率(wall plug efficiency)只有 0.02% 左右 。”

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