袁粲、刘秉不满萧道成专权，合谋将其消灭，准备于十二月二十三日举事 。事泄，萧道成抢先下手，杀死袁粲、刘秉，清除了夺取皇位道路上的两个政敌 。随后又诛灭忠于宋室的荆州刺史沈攸之、镇北将军黄回等人 。
升明三年（479年）三月初二日，宋顺帝任命萧道成为相国，总领百官，封给他十个郡的封地，号称齐公，颁赐九锡，让他仍然担任骠骑大将军、扬州牧、南徐州刺史等职 。
同年四月，宋顺帝颁诏，禅位于萧道成 。萧道成在建康南郊登基称帝，国号齐，是为齐高帝，改元建元，史称南齐 。
建元四年（482年）二月，萧道成身患重病 。同年三月初八日，萧道成在临光殿去世，终年五十六岁，在位四年 。
四月初六日，公卿大臣为萧道成上谥号为高皇帝，庙号太祖 。四月二十二日，葬于武进县的泰安陵 。
如何评价萧道成？
萧道成少有大志，喜怒不形于色，胸有四海之心；长得仪表英异，宽额方脸，声如洪钟，身高七尺五寸，遍体有鱼鳞纹 。
萧道成革除暴政，清明政治；兴办学校，培养人才，重视礼教；减免租税，让百姓休养生息；反对奢侈，大兴节俭之风 。借鉴了刘宋灭亡的教训，以宽厚为本，不要手足相残 。
他临死前，要求其子萧赜继续其方针 。萧赜遵其遗嘱，继续统治国家，使南朝出现了一段相对稳定发展的阶段 。
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